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两会代表的公文包穿越了更新至第六卷 - 第 114 页

  军事科技一般是组长聂荣臻负责抓的,李强作为科技小组的副组长,通常的工作分工是管民用科技和电子半导体科技(不分军民)。船舶工业系统当中的军舰设计建造当然属于军事科技,李强这是第一次视察工作。

  “国家实验室和国家重点实验室。现在光上海已经有5个实验室了,你们都是上海人,所以我就当你们已经大略了解了国家实验室机制。不过到现在为止,船舶工业系统还没有一个国家实验室或重点实验室,聂帅这次还交待我一个工作,就是同你们一起磋商、审议,找出当前世界舰船工业的前沿发展方向,如果我们现在有能力在这个前沿方向做出开创性工作,而且投资在国家能承受的范围内,那么,我们就成立一个。”

  船舶工业局长程旺把手里的几份材料递给李强:“聂帅是9、10月让我们思考这个问题的,到现在各船厂和研究所交上来的材料……一共5份,就这些。”

  这5份材料其实就是5个“点子”,由各单位琢磨出来的他们认为可以做的东西。李强打开第一份材料:“导弹驱逐舰和……导弹巡洋舰?”

  程旺:“今年海军战术导弹研究院成立了,他们已经在消化苏联P-15反舰导弹的技术了。如果导弹装在驱逐舰和巡洋舰平台上,那会比装在183鱼雷艇上有更好的持续作战能力和远洋作战能力。”

  李强:“这个,已经不算是前沿研究领域了吧?”

  程旺:“确实严格来说算不上。在大军舰上安装导弹系统可能比小鱼雷艇上面更方便,毕竟空间大、吨位大。国外,美国已经用巴尔的摩级搭载了天狮星巡航导弹,而且美国现在还把防空导弹也搬上了军舰,战列舰和巡洋舰都有。”

  李强放下第一份材料,看第二份:“你们是和导弹干上了。这个是导弹潜艇。”

  “这个我知道,”一名参会的船舶工业总局科研规划处的同志发表自己的意见,“苏联潜艇已经有搭载反舰导弹的规划方案了,而且我还知道美国潜艇也搭载天狮星巡航导弹了,也不算是别人没做过的前沿技术。”

  李强:“导弹驱逐舰、导弹巡洋舰、导弹潜艇,这些项目都是可以由你们自行开展前期论证和预研的,只要海军提出需求,你们就把东西给海军。但这些项目应该是正常的工程研发项目,还不至于提高到前沿探索的程度,因此也就没有必要成立国家实验室了。我们继续看下面的方案。”

  第三个方案是航空母舰。这……国内是缺技术,但更主要缺的是钱和飞机。

  第四个方案是坦克登陆舰改造的鱼雷艇、导弹艇保障母舰,这很可行,但没有太高的技术含量。

  “5号方案,先进潜艇技术。”

  程旺:“我们之前认为,所谓的先进潜艇技术,那就是核潜艇呗,结果江南厂的这位同志说,应该不限于核潜艇,而应该成立一个专门的前瞻性研究机构,研究所有方向的下一代潜艇所用的技术。”

  李强:“这个想法倒是不错,先进潜艇技术实验室。看问题高度上就和其他四个方案不一样了。一个实验室不是只为了一个型号而诞生的,而是对应一个技术方向。”

  程旺:“但是,这位同志的想法是,研制一种既不使用核反应堆,但又可以比较长时间在水下潜航的潜艇。”

  李强:“哦?不用核反应堆那用什么?不管柴油机汽油机它都要空气啊。”

  打开报告看,作者还真就是在设想常规动力的AIP潜艇,而且写得有理有据:

  二战末期纳粹德国就试验过这种潜艇,采用过氧化氢作为燃料也作为氧气源。过氧化氢分解产生一部分能量,且产生氧气。这氧气再与重油燃烧,产生更大的能量。

  但是过氧化氢这种东西吧……性格非常古怪。你是想让它缓慢可控分解放热,可它不一定愿意,它心情不好了就会剧烈分解——俗称爆炸。所以德国的这AIP潜艇就没通过试验。

  作者否决了过氧化氢燃料发动机,但认为这个方向是有可能出成果的,只是需要多考虑几种动力方案。作者一口气提出了三种其他的动力方案:

  大容量电池驱动的潜艇;

  自带氧气的柴油机动力系统,也在水下使用,燃烧产生的二氧化碳通过特殊装置排放并溶解到海水中;

  自带氧气的蒸汽轮机动力系统,和上面那个差不多,只是热机是蒸汽轮机。

  ……

  这5个方案里面,最后一个“先进潜艇技术实验室”得到李强的初步认可,在第二轮审议如过通过,就可以挂牌运行了。

  “黄昆啊,你们实验室的常态就是春节也不休息么?”

  处理完船舶工业的事情,李强去了复旦大学,在黄昆的实验室李强看到了墙上的工作排期表,春节就好像不存在一样,所有人所有工作都是无缝从1月份排到三月份。

  黄昆:“是啊是啊,反正我这败家小王子的名号已经背起来了,那干脆就败家更彻底一点。哈哈,开个玩笑。主要是我的新工艺硅晶体管有了很大的突破,为了抓紧时间,我重排了工作日程,本来春节是有假的,为了赶时间,今年就暂时取消了。”

  李强:“……”

 

第八十六章,切?为什么要切!

  复旦的半导体实验室为了迎接新设备进行过彻底的腾挪搬迁,原先那一套硅晶体管生产设备(硅炉和蒸汽渗透室)全部转移到上海郊区了,那里刚建起来一个复旦的分校园,或者说复旦大学-上电集团联合控股的校办工厂。

  现在李强完全不认识半导体实验室里的各种机器设备了。

  “原先的硅晶体管生产工艺,我叫它‘台面工艺’,而新的生产工艺,可以叫做‘平面工艺’。”黄昆向李强介绍自己的技术成果,“就在两天前,1958年1月14号,第一批平面工艺的硅晶体管已经下线了,测试结果良好。”

  李强:“你说的这个平面工艺,是完全由你研发出来的吗?”

  黄昆:“不是,不完全是。我……确实从美国那边公开的论文,还有几个我们重点跟进的公司披露的一些商业信息里找到了蛛丝马迹,其中的一些信息确实给了我很大启发。要不然我也不会这么有目的性地在去年要从国外引进这些设备。因为贝尔实验室、德州仪器、肖克利半导体公司,他们都在订购这些设备。”

  启发黄昆的主要是贝尔实验室。早在1955年,贝尔实验室的卡尔·弗洛希和林肯·德里克就发表了一篇论文《硅扩散的表面保护和选择性屏蔽》,描述了一种可能成功的对硅半导体进行加工的方式。

  这两人发表的成果不但贝尔实验室在继续发展,从贝尔实验室跳槽出去创办公司的威廉·肖克利也毫不犹豫地继续跟进这项技术。1956年,贝尔实验室在第三次半导体晶体管技术分享交流会议上公布了“玛贝尔食谱”,这是在弗洛希和德里克理论成果基础上,向工程应用迈出的非常重要的一步。

  “玛贝尔食谱”之后,贝尔实验室就开始订购新机器用来验证平面工艺是否可行了。而贝尔实验室下单订购,黄昆也马上下单订购。

  只不过黄昆现在不知道贝尔实验室的进展如何:此前的学术论文以及晶体管交流会议,都是公开、半公开报道的。1957年贝尔实验室进入工程研制新一代硅晶体管,这就暂时不对外公布了,至少也要等到贝尔实验室鼓捣出来并且把专利给申请了,才会被外界知道。

  不过这倒是关系不大,黄昆能顺着弗洛希和德里克理论成果的大方向往下走,这就很好了。

  “这是什么?一块……袁大头?”黄昆递过来一块“银元”。李强把“银元”捏在手心,比真实的袁大头直径略大一点,也是银灰色,不过很薄,捏起来可能也就一两毫米厚的样子。

  黄昆:“哈哈,这其实是一片单晶硅,不是白银。以前的台面工艺,是在一块硅板上面加工,现在工艺改进之后,在小圆片单晶硅上加工晶体管更方便。”

  黄昆挨个介绍实验室里的设备,其实也就是在介绍晶体管的新制造工序。

  “硅炉要更新,新的真空硅炉熔铸单晶硅的时候,出产的就不是硅板了,而是拉出来一根单晶硅柱。这根柱子可用部分的直径是60毫米。然后我们把这60毫米粗的硅柱切成薄片。”

  “这薄片不是您手里的这一片,您手里这一片它的表面经过了处理,又覆上了一层二氧化硅膜。”

  “已经是单质单晶硅了,为什么又要让它的表面被氧化呢?这就与它要做的下一道工序有关。”

  “下一道工序,在这片单晶硅的表面涂上一层由感光树脂、增感剂和溶剂组成的抗蚀胶。涂上抗蚀胶之后,软烤。”

  “看见没有?这是一盏大功率汞灯。我们在涂了抗蚀胶的硅片前面放置一个半透光的图案底片,汞灯透过图案底片照过去,单晶硅片上面的抗蚀胶有一部分被光照老化了,有一部分没有。照过之后我们把硅片拿去洗一洗,老化的抗蚀胶洗不掉,但没老化的抗蚀胶就洗掉了。”

  “洗掉抗蚀胶的部位,就露出了下面的二氧化硅层。然后我们再用强酸冲洗掉二氧化硅,露出下面的单质硅。然后利用离子溶液,把薄层杂质扩散到硅中。”

  “这样,小小的一片单晶硅,嗯,一块袁大头,上面我们就能一次刻出几百个甚至上千个硅晶体管来。加工速度很快不像台面工艺的金属蒸汽渗透工序动不动几个小时;加工环境宜人,没有超高温,就是化学品有味儿,要空气净化机。但总的来说,生产成本只有台面工艺的几分之一。余下的工序就简单了,切割、封装、测试、出厂。”

  ……

  黄昆兴致勃勃地介绍新的硅晶体管制造工艺,李强在旁边越听越愣,最后脚步都停下了,不跟着黄昆在实验室里踱步了。

  黄昆:“李局长?……李组长?……李老大?”

  李强外表看上去在发呆,其实大脑在以10X的速度飞速转动,就短短一两分钟之内,中南海看过无数次的《雷布斯提案》,又在李强的脑子里过了一遍。

  这一回,《雷布斯提案》里的几个名字,终于被李强筛选出来了。

  “黄昆,”李强举起手中的“袁大头”:“你把一个这个单晶硅,叫做‘一片’单晶硅?”

  黄昆:“对,对呀,那么薄的一片。”

  李强:“我明白了。”

  李强回头走了几步,来到前面两道工序那儿。这是一台进口的机器,再经过黄昆小改的。工作台上方一盏大功率汞灯,根据黄昆所说,这盏灯起作用的是紫外光谱的光线,不过汞灯发出的光肯定是多波段混合的,因此这盏汞灯会发出刺眼的紫光。紫光经过汇聚,照射(烘烤)工作台固定好的单晶硅片。烤到足够的时间,硅片就由传送带送到下一个工序洗洗。

  李强指着这台有工作台和传送带的机器,用颤巍巍的声音说道:“这道工序,叫做光刻?”

  黄昆:“叫烘烤定版。……不过光刻这个名字好像更直观,不错不错,就叫光刻了,那这台机器就叫光刻机。”

  李强再回头走两步。

  “你往单晶硅片上涂抹的这种,由感光树脂、增感剂和溶剂组成的东西,叫做抗蚀胶?”

  黄昆:“对,光致性抗蚀胶。”

  李强:“我看,这可以叫光刻胶。”

  “哦!哦!送入光刻机之前在硅片上涂抹的,确实可以叫光刻胶。”

  李强又调转头往生产线的末尾走,走到头,他把手中刚才黄昆给他的单晶硅片放在末尾的机器的台子上:“生产进行到这一步,就是单晶硅片上已经采用‘平面工艺’加工出来了几百个晶体管,对吗?”

  黄昆:“对啊。”

  李强突然伸出双手,一左一右捏住了黄昆的两肩,使劲摇晃,一边摇他还一边吼道:

  “那为什么还要切割!为什么还要把它切开!”

  黄昆:“啊?啊啊啊啊啊!”

  李强激动得停不下来,抓着黄昆肩膀,左右摇、前后摇、上下摇,一边摇还一边吼:

  “为什么要把一片硅片切开!本来可以不切开的!!!”

  黄昆:“啊啊啊!好好好,李老大,我们不切开,然后呢……啊啊啊”

  ……

  李强松手。

  “不切开,然后呢?”李强说道,“然后我怎么知道,你帮我继续往下想。立刻想。”

  黄昆刚被李强放开,脑子晕乎乎地,找了个小马扎坐下来还没说话他先打了个嗝:“额,那我们就得把这一块硅片上的七百多个晶体管用线连起来,怎么连线,那不是得跟设计计算机那帮人要图纸了啊?”

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